离子布植机

摘要

布植机，包括离子源以及至少一个光学元件。离子源提供一道离子束，而光学元件系配置于离子束的传递路径上，用以将离子束调整为非平行离子束，藉以用非平行离子束的不同部分同时对一个工件的不同区域进行离子布植。光学元件可以是磁性元件，像是磁四极矩或是分别位于二个相分离支架上的多数个线圈。光学元件也可以是电性元件，像是分别位于二个相分离支架上的多数个电极。不同的光学元件分别可以用来将离子束予以发散或收敛，藉以将离子源提供的离子束调整为平行度较差的非平行离子束。

主权项

一种离子布植机，包括： 一离子源，提供一离子束；以及 至少一光学元件，配置于离子束的一传递路径上，用以将离子束调整为非平行离子束，在此非平行离子束的平行度系明显小于平行离子束的平行度。