发明名称 沉积遮罩
摘要 沈积遮罩,其包含:一遮罩框架,其具有界定于中心的开口窗,且包含形成于其外表面的一第一开口与一第二开口、以及形成于遮罩框架中以空间上连接第一开口至第二开口之一第一连接通道;以及置于遮罩框架上的一遮罩板片;其中遮罩框架的表面面对遮罩板片且包含固定于遮罩板片的固定区域;而其中第一开口位于遮罩框架之表面于固定区域接近开口窗之一侧的区块中。
申请公布号 TWI515314 申请公布日期 2016.01.01
申请号 TW100145669 申请日期 2011.12.09
申请人 三星显示器有限公司 发明人 李相信
分类号 C23C14/04(2006.01);C23C16/04(2006.01);H01L51/56(2006.01) 主分类号 C23C14/04(2006.01)
代理机构 代理人 李国光;张仲谦
主权项 一种沈积遮罩,其包含:一遮罩框架,其具有界定于中心的一开口窗,且包含形成于其外表面的一第一开口与一第二开口、以及形成于该遮罩框架中以空间上连接该第一开口至该第二开口的一第一连接通道;以及一遮罩板片,其系置于该遮罩框架上;其中该遮罩框架的一表面面对该遮罩板片且包含固定于该遮罩板片的一固定区域,而其中该第一开口位于该固定区域接近该开口窗之一侧之该遮罩框架之该表面之一区块中。
地址 南韩