修改聚合物材料表面交互作用之方法和程序

摘要

明提供一种可固化材料，其包含光活性化合物，尤其光引发剂及可聚合单官能或多官能单体，诸如丙烯酸酯或环氧化物。该材料亦可含有经能够在固化时共价结合该化学组成物之官能基完全或部分封端之含氟界面活性剂。该等可固化组成物完全以丙烯酸酯为主或为不同类型单体(诸如丙烯酸酯、环氧化物或乙烯醚)之混杂物。该等可聚合单体可使用不同类型光引发剂(诸如自由基光引发剂或阳离子光引发剂)固化，最终形成包含不同类型单体(例如丙烯酸酯及环氧化物)之互穿网状结构的混杂抗蚀剂。丙烯酸酯/环氧化物混杂系统由于提高之丙烯酸酯转化率及低收缩率而已在高奈米压印微影方法保真度方面显示出改良的复制特性。

主权项

一种提供可光固化IPS材料之方法，其适用于包含将图案自未经表面处理之印模转移至可光固化IPS材料，及然后使该可光固化IPS材料光固化而形成IPS及使用该图案化IPS作为模板来将在该IPS上形成的图案转移至基板抗蚀剂表面上之两步骤压印法中，该可光固化IPS材料包含经能够在固化时共价结合于IPS抗蚀剂之化学官能基完全或部分封端之矽氧烷，其中未固化之可光固化IPS材料为混杂物，其包含可聚合单官能或多官能丙烯酸酯单体、可聚合单官能或多官能环氧化物及至少一种自由基光引发剂，以及至少一种阳离子光引发剂，且其在光子辐射后形成包含聚合丙烯酸酯及环氧化物之互穿网状结构的混杂材料。