| 发明名称 | 搬运方法及基板处理装置 | ||
| 摘要 | 明提供一种搬运方法，于基板处理装置内，将可密闭收纳基板且上部形成有凸缘部之收纳容器，利用具备设有凸缘插入部之手部的搬运机构，从在第1水平方向并排设置至少2个以上，可各自往与该第1水平方向垂直之第2水平方向水平移动的载置台，往与该载置台于该第2水平方向侧分隔设置的搬运场所搬运；该搬运方法包含以下步骤：第1步骤，使载置有搬运对象亦即该收纳容器之该载置台，往该第2水平方向的该搬运场所侧移动既定距离；第2步骤，使该手部，从载置有搬运对象亦即该收纳容器之载置台邻接的该载置台侧往该第1水平方向滑动，以将该凸缘部插入至该凸缘插入部内；以及第3步骤，藉由该手部，将该收纳容器从该载置台往该搬运场所搬运。 | ||
| 申请公布号 | TW201601238 | 申请公布日期 | 2016.01.01 |
| 申请号 | TW104106751 | 申请日期 | 2015.03.04 |
| 申请人 | 东京威力科创股份有限公司 | 发明人 | 菊池浩;藤井荣树 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01);H01L21/673(2006.01) | 主分类号 | H01L21/677(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | 周良谋;周良吉 | |
| 主权项 | 一种搬运方法，于基板处理装置内，将可密闭收纳基板且上部形成有凸缘部之收纳容器，利用具备设有凸缘插入部之手部的搬运机构，从在第1水平方向并排设置至少2个以上，且可各自往与该第1水平方向垂直之第2水平方向水平移动的载置台，朝向与该载置台在该第2水平方向侧分隔设置的搬运场所搬运；包含如下步骤： 第1步骤，使载置有搬运对象亦即该收纳容器之该载置台，往该第2水平方向的该搬运场所侧移动既定距离； 第2步骤，使该手部，从载置有搬运对象亦即该收纳容器之载置台邻接的该载置台侧往该第1水平方向滑动，以将该凸缘部插入至该凸缘插入部内；以及 第3步骤，藉由该手部，将该收纳容器从该载置台往该搬运场所搬运。 | ||
| 地址 | 日本 | ||