用于在探测装置中调整晶圆角度之控制单元

摘要

晶圆角度控制器中，包括一晶圆夹头、一夹头连接器、一固定轴件、一螺纹轴件与一驱动单元。一晶圆系用于定位于晶圆夹头之上，晶圆夹头系可相对于其一中心轴而进行转动。夹头连接器系设置于晶圆夹头之一周边部件且其内具有一球型中空部件。固定轴件系以垂直于晶圆夹头之一回转半径之一切线方向进行延伸，固定轴件包括一球型连接本体、一第一端部件、一第二端部件与一螺纹孔，其中，位于第一端部件之球型连接本体系对应于夹头连接器之球型中空部件，第二端部件系相对于第一端部件，螺纹孔系位于第二端部件。螺纹轴件系藉由一螺纹接头而耦接于固定轴件之螺纹孔，根据相对于固定轴件之螺纹轴件之放松与固定系可对于位在螺纹轴件与固定轴件之间之一接合距离进行改变。驱动单元系定位于晶圆夹头之周围且用以驱动螺纹轴件而自固定轴件之螺纹孔进行放松与固定，如此便可根据螺纹轴件与固定轴件之间之接合距离之变化而对于晶圆夹头进行回转。

主权项

一种晶圆角度控制器，用于一探测装置，该晶圆角度控制器包括：一晶圆夹头，一晶圆系用于定位于该晶圆夹头之上，该晶圆夹头系可相对于其一中心轴而进行转动；一夹头连接器，设置于该晶圆夹头之一周边部件且其内具有一球型中空部件；一固定轴件，以垂直于该晶圆夹头之一回转半径之一切线方向进行延伸，该固定轴件包括一球型连接本体、一第一端部件、一第二端部件与一螺纹孔，其中，位于该第一端部件之该球型连接本体系对应于该夹头连接器之该球型中空部件，该第二端部件系相对于该第一端部件，该螺纹孔系位于该第二端部件；一螺纹轴件，藉由一螺纹接头而耦接于该固定轴件之该螺纹孔，根据相对于该固定轴件之该螺纹轴件之放松与固定系可对于位在该螺纹轴件与该固定轴件之间之一接合距离进行改变；以及一驱动单元，定位于该晶圆夹头之周围且用以驱动该螺纹轴件而自该固定轴件之该螺纹孔进行放松与固定，如此便可根据该螺纹轴件与该固定轴件之间之该接合距离之变化而对于该晶圆夹头进行回转；其中，该夹头连接器更包括至少一导引沟槽，该固定轴件之该球型连接本体系可经由该至少一导引沟槽之导引下而以相对于一垂直轴件下而于该夹头连接器之该球型中
空部件之中进行回转，该垂直轴件系平行于该晶圆夹头之该中心轴。