主权项 |
一种磨削装置,为具备保持台与磨削手段的磨削装置,该保持台是用以保持并旋转被加工物、该磨削手段包括了用以磨削被保持于该保持台上之被加工物之磨削轮,该磨削装置还具备超音波洗净喷嘴,该超音波洗净喷嘴是由可对该磨削轮喷射洗净液之喷射喷嘴本体、对该喷射喷嘴本体供给洗净液之洗净液供给部、对由该洗净液供给部所供给之洗净液赋予超音波之超音波振动器,及对该超音波振动器施加交流电力之电力供给手段所构成,该超音波洗浄喷嘴是被配置成可朝向磨削着被加工物之该磨削轮之磨削磨石的磨削面喷射已被赋予超音波之洗净液,且是将该超音波振动器之振动频率设定在450kHz~1.0MHz。
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