Rechnergestütztes Verfahren zur Vorbereitung der messtechnischen Schnittstellen-Charakterisierung eines Halbleiter-Chips

摘要

Rechnergestütztes Verfahren–zur Bestimmung eines geeigneten Abtastzeitpunkts mindestens eines digitalen Ausgangssignals oder–zur Bestimmung einer geeigneten Zeitlage der Flanken mindestens eines digitalen Eingangssignals für die Messung zeitabhängiger Kenngrößen eines Halbleiter-Chips, mit den Schritten: a) Entgegennahme eines simulierten Zeitverlaufs–des Ausgangssignals bzw.–des Chip-internen Abtaststeuersignals des Eingangssignals; b) Bestimmen eines relativen Umschaltzeitpunkts des Ausgangssignals bzw. des Abtaststeuersignals aus dem simulierten Zeitverlauf, wobei ein relativer Umschaltzeitpunkt die Zeitlage einer oder mehrerer gleichartiger oder verschiedenartiger Flanken des jeweiligen Signals innerhalb einer sich wiederholenden Periode mit einer Periodendauer T angibt, wobei die Anzahl gleichartiger oder verschiedenartiger Flanken in dem Zeitverlauf oder in einem Teilabschnitt des Zeitverlaufs des jeweiligen Signals für verschiedene Zeitlagen innerhalb der Periode ermittelt wird, und wobei diejenige Zeitlage mit der maximalen Anzahl gleichartiger oder verschiedenartiger Flanken einen relativen Umschaltzeitpunkt festlegt; und c) Ermitteln des geeigneten Abtastzeitpunkts des digitalen Ausgangssignals bzw. der geeigneten Zeitlage des digitalen Eingangssignals in Abhängigkeit des relativen Umschaltzeitpunkts des Ausgangssignals bzw. des Abtaststeuersignals, wobei sich–der geeignete Abtastzeitpunkt aus dem relativen Umschaltzeitpunkt des Ausgangssignals bzw.–die geeignete Zeitlage aus dem relativen Umschaltzeitpunkt des Abtaststeuersignals zuzüglich oder abzüglich eines vorgegebenen oder wählbaren Bruchteils der Periodendauer T ergibt.