APPARATUS FOR PROCESSING FLEXIBLE SUBSTRATE AND METHOD OF PROCESSING FLEXIBLE SUBSTRATE USING THE SAME

摘要

롤투롤 방식으로 플렉시블 기판이 처리되도록 한 플렉시블 기판 처리장치는 플렉시블 기판을 공급하는 기판 공급롤, 상기 기판 공급롤과 이격되고 상기 기판 공급롤로부터 풀려나오는 상기 플렉시블 기판을 회수하는 기판 회수롤, 상기 기판 공급롤과 상기 기판 회수롤의 사이에 배치되어 상기 플렉시블 기판을 지지하며, 상기 플렉시블 기판이 처리되는 처리부 및 상기 처리부로 공정가스를 공급하는 가스공급부를 포함하므로, 생산성을 향상시킬 수 있다.