| 主权项 |
一种刻蚀设备，其特征在于，包括：入板装置，包括入板传送段，用于对电路板进行入板传送操作；显影装置，包括显影机构及第一清洗机构，所述显影机构包括显影传送段、显影缸、显影喷淋管及显影喷淋头，所述入板传送段与所述显影传送段连接，所述显影喷淋管与所述显影缸连通，所述显影喷淋头与所述显影喷淋管连通，所述显影喷淋头用于向所述显影传送段上的电路板喷洒显影液，所述显影缸内设置有第一搅拌机构，用于对所述显影缸内的显影液进行搅拌操作，所述显影传送段与所述第一清洗机构连接，所述第一清洗机构用于对电路板进行喷淋清洗操作；第一检查装置，与所述第一清洗机构连接；刻蚀装置，包括刻蚀机构及第二清洗机构，所述刻蚀机构包括刻蚀传送段及刻蚀组件，所述刻蚀传送段与所述第一检查装置连接，所述刻蚀组件用于向所述刻蚀传送段上的电路板喷洒刻蚀液，所述第二清洗机构与所述刻蚀传送段连接，所述第二清洗机构用于对电路板进行喷淋清洗操作；第二检查装置，与所述第二清洗机构连接；膨松装置，包括膨松传送段、膨松缸、膨松喷淋管及膨松喷淋头，所述膨松传送段与所述第二检查装置连接，所述膨松喷淋管与所述膨松缸连通，所述膨松喷淋头与所述膨松喷淋管连通，所述膨松喷淋头用于向所述膨松传送段上的电路板喷洒膨松液；退膜装置，包括退膜机构及第三清洗机构，所述退膜机构包括退膜传送段及退膜组件，所述退膜传送段与所述膨松传送段连接，所述退膜组件用于向所述退膜传送段上的电路板喷洒退膜液，所述第三清洗机构与所述退膜传送段连接，所述第三清洗机构用于对电路板进行喷淋清洗操作；出板装置，与所述第三清洗机构连接，用于对电路板进行烘干及出板传送操作。 |
