一种双传感器高灵敏度泡生法引晶系统

摘要

本实用新型公开了一种双传感器高灵敏度泡生法引晶系统，包括有支撑平台，在支撑平台中设有籽晶杆安装孔，在籽晶杆安装孔两侧分别设有能支撑并称量籽晶杆安装孔中籽晶杆的重量的第一称重传感器和第二称重传感器，在第一称重传感器与支撑平台之间设有能抬升第一称重传感器的第一压电微位移驱动器，在第二称重传感器与支撑平台之间设有能抬升第二称重传感器的第二压电微位移驱动器。本实用新型的目的提供一种结构简单，使用方便，用于晶体生长的双传感器高灵敏度泡生法引晶系统，该系统可以最低的成本在引晶阶段和晶体生长初期准确地判断晶体生长状况，极大的方便了引晶工作的进行，和提高了引晶的精准性，减少了人为主观因素对晶体质量的影响。

主权项

一种双传感器高灵敏度泡生法引晶系统，其特征在于：包括有支撑平台（1），在所述支撑平台（1）中设有籽晶杆安装孔（2），在所述籽晶杆安装孔（2）两侧分别设有能支撑并称量籽晶杆安装孔（2）中籽晶杆（10）的重量的第一称重传感器（3）和第二称重传感器（4），在所述第一称重传感器（3）与支撑平台（1）之间设有能抬升第一称重传感器（3）的第一压电微位移驱动器（5），在所述第二称重传感器（4）与支撑平台（1）之间设有能抬升第二称重传感器（4）的第二压电微位移驱动器（6）。