一种单晶炉循环水安保装置

摘要

一种单晶炉循环水安保装置，循环水泵抽取循环水箱内的循环水后，经板式换热器中的冷冻水冷却后对单晶炉进行降温，备用水泵与循环水泵并联连接，且处于关闭状态，在板式换热器与单晶炉之间的冷却水管路中设置电接点压力表，用于检测冷却水的水压，并输出控制信号给软启动柜，软启动柜根据该信号启动备用水泵，以抽取循环水箱内的循环水进入板式换热器中冷却，进入对单晶炉进行降温。本实用新型通过在冷却水循环系统中增设电接点压力表来监控系统是否出现故障，并在出现故障时由软启动柜控制备用水泵的启动，从而保证单晶炉循环水能有一个基本水压，能维持炉台一个最低的循环水量，防止单晶炉的干烧。

主权项

一种单晶炉循环水安保装置，包括一循环水箱（1）、若干台循环水泵（2）和板式换热器（3），其中，循环水泵（2）抽取循环水箱（1）内的循环水后，经板式换热器（3）中的冷冻水冷却后对单晶炉（4）进行降温，冷却后的循环水回到循环水箱（1）内，其特征在于：还设有一软启动柜、一电接点压力表（5）和备用水泵（6），其中，备用水泵（6）与上述的若干台循环水泵（2）并联连接，且处于关闭状态，所述电接点压力表（5）设置在板式换热器（3）与单晶炉（4）之间的冷却水管路中，用于检测冷却水的水压，并输出控制信号给软启动柜，软启动柜根据该信号启动备用水泵（6），以抽取循环水箱（1）内的循环水进入板式换热器（3）中冷却，进入对单晶炉（4）进行降温。