一种晶圆减薄临时粘接光固化胶粘剂

摘要

本发明提供一种晶圆减薄临时粘接光固化胶粘剂，其质量份数组成为：主体树脂40-70份、（甲基）丙烯酸酯类活性稀释剂18-50份、热敏气体发生剂1-8份、光引发剂1-5份、阻聚剂1-3份。本发明所提供的胶粘剂100%固含量无易挥发溶剂，所用橡胶改性型聚氨酯丙烯酸酯主体树脂具有优良的耐化学腐蚀性能，尤其选用相应氢化型聚氨酯丙烯酸酯时体系耐老化性能更加优良，同时由于丙烯酸酯类单体的加入使得光敏剂与体系相容性高，体系稳定性好，更重要的是由于热敏气体发生剂的加入，使得键合后的胶粘剂置于50-100℃水中即可短时内解粘接并自行整体脱离晶圆与基材，无残留。

主权项

一种晶圆减薄临时粘接光固化胶粘剂，其特征在于，质量份数组成为：主体树脂40‑70份、（甲基）丙烯酸酯类活性稀释剂18‑50份、热敏气体发生剂1‑8份、光引发剂1‑5份、阻聚剂1‑3份；所述主体树脂为聚异戊二烯型聚氨酯丙烯酸酯、聚丁二烯型聚氨酯丙烯酸酯、聚乙丙型聚氨酯丙烯酸酯中的一种；其中，聚异戊二烯型聚氨酯丙烯酸酯中的聚异戊二烯为端羟基顺式‑1,4‑聚异戊二烯；聚丁二烯型聚氨酯丙烯酸酯中的聚丁二烯为端羟基反式‑1,4‑聚丁二烯或端羟基聚1,2‑丁二烯，聚乙丙型聚氨酯丙烯酸酯中的乙丙低聚物为端羟基二元乙丙低聚物；主体树脂的化学结构通式如式（1）所示：（1）其中：R₁代表、、、或其氢化物、、中的一种，其中n范围为5‑100；x,y范围为1‑5；   R₂代表二苯基甲烷二异氰酸酯(MDI)、甲苯二异氰酸酯(TDI)、六亚甲基二异氰酸酯(HDI)、间苯二亚甲基二异氰酸酯(XDI)或异佛尔酮二异氰酸酯(IPDI)中除异氰酸酯基的部分。