多真空度可调真空机组

摘要

本实用新型公开了一种多真空度可调真空机组，包括真空泵、至少两个真空罐、真空传感器及控制装置，至少两个真空罐中的每个的吸气口用于连接外部的一台待抽真空设备；至少两个真空罐中的每个的出气口通过一连接管与真空泵的进气口相连，连接管中的至少一个上设有真空调节阀；至少两个真空罐上分别设置一真空传感器；控制装置与真空泵、真空调节阀及真空传感器信号连接，用于将真空传感器检测的信号分别对应地与至少两个真空罐的设定真空度进行对比并输出控制信号，以调节真空泵的速度和/或真空调节阀的开度，使得至少两个真空罐保持在不同的设定真空度。本实用新型能够提供多个不同真空度，可自动调节到设定真空度。

主权项

一种多真空度可调真空机组，其特征在于，包括：真空泵，所述真空泵具有进气口和出气口；至少两个真空罐，所述至少两个真空罐中的每个具有一吸气口和一出气口，所述至少两个真空罐中的每个的吸气口用于连接外部的一台待抽真空设备；所述至少两个真空罐中的每个的出气口通过一连接管与所述真空泵的进气口相连，所述连接管中的至少一个上设有真空调节阀；真空传感器，所述至少两个真空罐上分别设置一所述真空传感器；控制装置，所述控制装置与所述真空泵、真空调节阀及真空传感器信号连接，用于将所述真空传感器检测的信号分别对应地与所述至少两个真空罐的设定真空度进行对比并输出控制信号，以调节所述真空泵的速度和/或真空调节阀的开度，使得所述至少两个真空罐保持在不同的设定真空度。