表面形状测量方法以及其装置

摘要

本发明提供一种能够非破坏、非接触、高精度、宽倾斜角动态范围地测量任意的被检查物体的表面形状的技术。在使用了双光束干涉仪的白光干涉法中，构成为使参照平面的表面方向相对于其入射光轴变化，一边通过使上述参照平面的表面方向相对于被检查面上的任意位置的局部表面方向相对地变化，一边获取多个由来自上述被检查面的反射光和来自上述参照平面的反射光的干涉而生成的干涉条纹，并根据这些干涉条纹求出上述被检查面上的局部表面方向，由此来测量上述被检查面的表面形状。

主权项

一种表面形状测量方法，通过使被检查面和参照面对比来在被检查面上的任意位置测定上述被检查面的表面高度和表面方向双方，上述表面形状测量方法的特征在于，构成为，上述表面高度以及表面方向均不需要根据上述被检查面上的两个以上的位置的测定数据进行计算，而是通过使与上述被检查面对比的参照面变化，从而仅由上述被检查面上的一个位置的测定数据就能够决定。