一种降低双面扩散破片率缩短扩散工艺时间的方法

摘要

本发明公开了一种降低双面扩散破片率缩短扩散工艺时间的方法。本发明为将清洗制绒后的硅片进行磷扩散，其特征在于进、出舟时以不同的速度运行，空桨运行时以扩散设备所要求的最大速度运行，缩短扩散运行时间，增加扩散产能。硅片从进、出炉管时以较低的速度运行，降低热应力，降低扩散破片率。

主权项

一种降低双面扩散破片率缩短扩散工艺时间的方法，其特征在于，步骤如下：（1）将清洗制绒干净的硅片装满石英舟，将装满硅片的石英舟放置于碳化硅桨上，打开炉门；（2）碳化硅桨运行至前限位；（3）碳化硅桨运行至下限位；（4）空桨运行至后限位，关闭炉门；（5）打开炉门，空桨运行至前限位；（6）空桨运行至上限位；（7）碳化硅桨运行至后限位，关闭炉门。