晶圆承盘结构

摘要

本实用新型公开了一种晶圆承盘结构，其包括一第二挡墙，第二挡墙设置于晶圆承盘的周缘，藉由将第二挡墙分为交互接邻的第三段及第四段，使第四段的宽度大于第三段的宽度，并将第四段设置于邻近晶圆承盘的转角处，藉此增强第二挡墙于转角附近的厚度，使第二挡墙于搬运的过程中不易因碰撞而破损，以达成提供一种结构稳固的晶圆承盘结构。

主权项

一种晶圆承盘结构，其特征在于：包括：一本体，该本体由交互接邻的一长边及一短边所构成，各该长边及各该短边接邻处具有一转角，该本体具有多个容置槽，该些容置槽供以容置晶圆，该本体的一面的周围环设有一第一挡墙，该第一挡墙由交互接邻的一第一段及一第二段构成，该第一挡墙的第二段沿着该转角延伸设置，该第一挡墙的周缘具有依续接邻的一第一侧、一第一连接面及一第二侧，该第一段的第一连接面的长度为一第一宽度，该第二段的连接面的长度为一第二宽度，该第一宽度大于该第二宽度；该本体的另一面的周围环设有一第二挡墙，该第二挡墙与该本体之间形成一容槽，该第二挡墙由交互接邻的一第三段及一第四段构成，该第二挡墙的第四段沿着该转角延伸设置，该第二挡墙的周缘具有依续接邻的一第三侧、一第二连接面及一第四侧，该第三段的第二连接面的长度为一第三宽度，该第四段的第二连接面的长度为一第四宽度，该第四宽度大于该第三宽度。