一种基于扫描振镜快速移动激光焦点的植入装置

摘要

本实用新型公开了一种基于扫描振镜快速移动激光焦点的植入装置，包括激光器、可移动透镜、聚焦透镜、X扫描镜和Y扫描镜、X振镜和Y振镜、以及控制系统，控制系统控制X振镜和Y振镜的运动，进而控制X扫描镜和Y扫描镜的反射角度，激光器产生的激光通过所述可移动透镜进行调节，然后经过聚焦透镜将激光进行聚焦，聚焦后的激光经X扫描镜和Y扫描镜反射到放置于由靶材颗粒组成的悬浊液中的基材的表面上。本实用新型采用振镜技术，控制激光焦点按照特定的运动轨迹和扫描速度，在基材需要植入微细颗粒的表面进行扫描运动，悬浊液不断提供植入所需要的靶材，振镜快速移动激光焦点，保证了前后两次植入的周围环境一直处于稳定状态。

主权项

一种基于扫描振镜快速移动激光焦点的植入装置，其特征在于，包括激光器、可移动透镜（6）、聚焦透镜（5）、X扫描镜 (2)和Y扫描镜 (4)、X振镜（1）和Y振镜（3）、以及控制系统，所述控制系统控制X振镜（1）和Y振镜（3）的运动，进而控制X扫描镜 (2)和Y扫描镜 (4)的反射角度，激光器产生的激光通过所述可移动透镜（6）进行调节，然后经过聚焦透镜（5）将激光进行聚焦，聚焦后的激光经X扫描镜 (2)和Y扫描镜 (4)反射到放置于由靶材颗粒组成的悬浊液中的基材（8）的表面上。