用于蓝宝石的内外循环混酸清洗槽及其清洗设备

摘要

本实用新型公开一种用于蓝宝石的内外循环混酸清洗槽，属于半导体设备技术领域，包括内槽(2)，内槽中接有双氧水管和硫酸管，还包括外槽(1)，外槽底部开有若干循环孔，循环孔外接循环管路(6)，循环管路上接有循环泵(8)，循环泵的另一端接有循环进酸管，循环进酸管通入至内槽中；内槽的侧壁上设置有温度传感器及加热器；外槽的侧壁上由低至高依次设置有浓硫酸位置感应器(5)和双氧水位置感应器(4)；本实用新型还提供了一种包括上述清洗槽的清洗设备。通过设置外槽，使加入到内槽中的酸液流至外槽，再通过外槽循环回流至内槽中，可将槽内的浓硫酸、双氧水充分混合，增大混合液的活性，有效提高对蓝宝石晶片的清洗效率。

主权项

一种用于蓝宝石的内外循环混酸清洗槽，包括用于清洗蓝宝石晶片的内槽(2)，所述的内槽(2)中接有用于进液的双氧水管(11)和硫酸管(12)；其特征在于，还包括设置在内槽(2)外侧的外槽(1)，所述的外槽(1)底部开有若干循环孔(14)，循环孔(14)外接循环管路(6)，所述的循环管路(6)上接有循环泵(8)，循环泵(8)的另一端接有循环进酸管(9)，所述的循环进酸管(9)通入至内槽(2)中；所述内槽(2)的侧壁上设置有温度传感器(13)及加热器(10)，当温度传感器(13)监测内槽(2)中酸液温度低于设定温度时，加热器(10)启动对内槽(2)中酸液进行加热，温度传感器(13)监测达到设定温度后，加热器(10)停止加热；所述外槽(1)的侧壁上由低至高依次设置有用于监测液面高度的浓硫酸位置感应器(5)和双氧水位置感应器(4)，当外槽(1)内液面升至浓硫酸位置感应器(5)时，硫酸管(12)停止进液，当外槽(1)内液面升至双氧水位置感应器(4)时，双氧水管(11)停止进液。