質量分析装置

摘要

イオン検出器（５）と一体である取付板（１０）のフランジ（１０ａ）をＯリング等の緩衝部材（１２）を介して真空チャンバ（１）の内面に固定する。真空チャンバ（１）は付設されたターボ分子ポンプにより機械的に振動するが、緩衝部材（１２）により振動が吸収されるので、イオン検出器（５）の振動は抑制される。その結果、イオン検出器（５）の振動に伴って検出信号に重畳されるノイズが軽減される。このようにして、簡単で廉価な構成により、検出信号の品質を高めることができる。