パターニングデバイス操作システム及びリソグラフィ装置

摘要

【課題】リソグラフィ装置の可動コンポーネントの正確な位置決め及び整形を実現させる。【解決手段】交換可能なオブジェクト（３０２）を支持するシステム（３００）は、可動構造（３０４）と、可動構造に対して移動可能なように構成されたオブジェクトホルダ（３０６）と、を含んでいてもよい。オブジェクトホルダは、交換可能なオブジェクトを保持するように構成できる。システムは、第１のアクチュエータアセンブリ（３０８）と、第２のアクチュエータアセンブリ（３１６）と、を含んでいてもよい。第１のアクチュエータアセンブリは、オブジェクトホルダに力を印加して交換可能なオブジェクトを概ね平面に沿って平行移動させるように構成できる。第２のアクチュエータアセンブリは、オブジェクトホルダに曲げモーメントを印加するように構成できる。交換可能なオブジェクトは、リソグラフィ装置のパターニングデバイスであってもよい。【選択図】図３