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发明名称
保持体、結晶成長方法および結晶成長装置
摘要
本発明の保持体は、上端に開口部5aを有する坩堝5の内部に収容された炭素を含む珪素の溶液6に種結晶2の下面2Bを接触させて下面2Bに結晶を成長させる溶液成長法に用いられる保持体1であって、下面3Aに種結晶2を保持する保持部材3と、保持部材3の下面3Aに保持された、下面3Aよりも大きい上面を持つ、炭化珪素からなる種結晶2と、保持部材3の側面3Bに固定されるとともに、平面視して側面3Bから種結晶2の外周よりも外側に連続する、溶液6からの蒸気の上方への移動を抑制する抑制部材8とを有する。
申请公布号
JPWO2013161999(A1)
申请公布日期
2015.12.24
申请号
JP20140512711
申请日期
2013.04.26
申请人
京セラ株式会社
发明人
正木 克明;久芳 豊;堂本 千秋
分类号
C30B29/36;C30B19/06
主分类号
C30B29/36
代理机构
代理人
主权项
地址
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