テストヘッド用カンチレバー型コンタクトプローブ

摘要

少なくともプローブ本体（２１）及び鉤状の端部分（２２）を備えるカンチレバー型コンタクトプローブ（２０，２０’，２０”）において、鉤状端部分（２２）は、プローブ本体（２１）に連結され、且つ鉤状部として構成された傾斜セクション（２３）で終端し、端部分（２２）は、プローブ（２０，２０’，２０”）の長手方向延在軸に対する鉤状傾斜セクション（２３）の好適な傾きを有する屈曲点（２４）で曲げられ、端部分（２２）は、被試験デバイスの接触パッドとの機械的及び電気的な接触を確保することが可能な接触先端部（２５）で終端する。有益なことに、プローブは、少なくとも縮小部分（２６，２６’）を備え、縮小部分（２６，２６’）は、少なくとも第１のサイズ（Ｂ）をもつ第１の面積部（Ａ１）を有し、第１のサイズ（Ｂ）は、上記プローブにおける縮小部分（２６，２６’）を含まないセクションでの第２の面積部（Ａ２）の対応する第１のサイズ（Ｂ’）よりも、テストヘッド内での前記プローブの横並びの配置方向（Ｄｉｒ）に沿って小さく、縮小部分（２６，２６’）は、縮小部分（２６，２６’）の側部に沿って実質的に縮小され、これにより、交差方向に縮小したサイズを有する領域を縁に沿って配置して形成する。