| 摘要 |
ＳＡＷ素子５１は、基板５３と、基板５３の上面５３ａに位置する第１櫛歯電極５９Ａおよび第２櫛歯電極５９Ｂを備えたＩＤＴ５５と、基板５３の上面５３ａに位置する容量素子６９とを備える。容量素子６９は、第１櫛歯電極５９Ａに接続された第１対向電極７１Ａと、第２櫛歯電極５９Ｂに接続され、第１対向電極７１Ａと第３ギャップ７３を介して対向する第２対向電極７１Ｂとを備える。第１対向電極７１Ａから第３ギャップ７３を経由して第２対向電極７１Ｂへ向かう方向は、第１櫛歯電極５９Ａからギャップ６７を経由して第２櫛歯電極５９Ｂへ向かう方向とは逆方向である。ギャップ６７の間隔をｄｉ、幅をｗｉとし、第３ギャップ７３の間隔をＤｊ、幅をＷｊとしたときに、０＜Σ（Ｗｊ／Ｄｊ２）＜２Σ（ｗｉ／ｄｉ２）が成り立つ。 |
