| 摘要 |
【課題】 本発明は、セリア含有廃研磨材に含まれている不純物を効果的に除去しながら、再生工程の安定性を確保できるため、セリア含有廃研磨材の適切な再生を可能にするセリア含有廃研磨材の再生方法に関するものである。【解決手段】 前記セリア含有廃研磨材の再生方法は、セリア（ＣｅＯ2）含有廃スラッジを、（ａ）ＮａＨＦ2、（ＮＨ4）ＨＦ2、またはＫＨＦ2のフッ素系化合物を含むか、（ｂ）ＮａＦ、（ＮＨ4）Ｆ、またはＫＦのフッ素塩と、非フッ酸系酸との混合物を含む溶解剤溶液に溶解させる段階と、前記セリア含有廃スラッジを洗浄して、溶解剤溶液に溶解したシリカ（ＳｉＯ2）含有不純物を除去する段階と、前記洗浄されたセリア含有廃スラッジを再分散およびろ過したり、乾燥および焼成する段階とを含む。【選択図】図１ |
