靶材用钼铌合金板的制备方法

摘要

本发明涉及一种靶材用钼铌合金板的制备方法。其特点是，包括如下步骤：首先将钼粉和铌粉按照5～15：85～95的质量比混合得到混合粉，将该混合粉压成合金坯，然后进行烧结，烧结过程中通入氢气进行保护，当烧结温度到1000℃保温2～3小时，再升温到1700℃保温2～3小时，然后升温到1950℃保温8～10小时，最终烧结成合金坯状，再经过1200～1400℃高温煅造后在1500～1600℃下轧制成板材即可。本发明提供了一种成本低廉，质量等各方面能满足要求的靶材用钼铌合金板的新方法，产品主要应用于平板显示器等领域。

主权项

一种靶材用钼铌合金板的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：首先准备钼粉和铌粉，采用平均粒度为10μm以下的钼粉和200目以下的铌粉；将钼粉和铌粉按照10：90的质量比置于混料机中混合24小时得到混合粉，将该混合粉经过油压机压成合金坯，油压机的成型压力控制在80吨，然后采用卧式真空烧结炉进行烧结，烧结过程中通入氢气进行保护，控制烧结时升温速率为10℃/min，当烧结温度到1000℃保温2.5小时，再升温到1700℃保温2.5小时，然后升温到1950℃保温9小时，最终烧结成合金坯状，再经过1300℃高温锻造后进入高温炉1550℃下轧制成所需规格的板材；再经切割、精磨、机加即成为钼铌合金板靶材产品。