蒸镀设备及蒸镀方法

摘要

本发明是关于一种蒸镀设备及蒸镀方法，属于真空蒸镀技术领域。所述蒸镀设备包括：基板、蒸镀腔及波纹管；所述蒸镀腔内设置有蒸镀源，所述蒸镀腔的侧壁设置有两个限制板；所述基板设置于所述蒸镀源的正上方，所述波纹管设置于所述蒸镀腔的底部。本发明在蒸镀腔的底部设置波纹管，通过波纹管的转动带动蒸镀腔上下移动，从而改变蒸镀源与限制板之间的相对高度，无需对蒸镀设备进行改造，即可满足不同有机材料的蒸镀条件，不仅明显地提高了设备灵活性，而且节省了时间及资源消耗。

主权项

一种蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备包括：基板、蒸镀腔及波纹管；所述蒸镀腔内设置有蒸镀源，所述蒸镀腔的侧壁设置有两个限制板；所述基板设置于所述蒸镀源的正上方，所述波纹管设置于所述蒸镀腔的底部。