一种溶胶凝胶法制备金红石二氧化钛纳米薄膜的方法

摘要

一种溶胶凝胶法制备金红石二氧化钛纳米薄膜的方法，属于薄膜制备技术领域。首先以钛酸四丁酯(Ti(OBu)₄)为溶质，单乙醇氨、乙二醇甲醚和丙酮的混合液为溶剂，配制钛酸四丁酯的浓度为0.1～1mol/L的前驱体溶液，其中，单乙醇氨、乙二醇甲醚和丙酮的体积比为1：1：0.5；然后加入乙酰丙酮作为螯合剂、丙三醇作为增粘剂，搅拌，得到透明均匀的溶胶；最后经过旋涂和高温烧结，在硅片上得到金红石二氧化钛纳米薄膜。本发明方法具有成本低廉、工艺简单、重复性好、可大规模制造的优点。

主权项

一种溶胶凝胶法制备金红石二氧化钛纳米薄膜的方法，具体包括以下步骤：步骤1：以钛酸四丁酯为溶质，单乙醇氨、乙二醇甲醚和丙酮的混合液为溶剂，配制钛酸四丁酯的浓度为0.1～0.6mol/L的前驱体溶液；其中，单乙醇氨、乙二醇甲醚和丙酮的体积比为1：1：0.5；步骤2：在步骤1得到的前驱体溶液中加入乙酰丙酮、丙三醇，搅拌，得到透明均匀的溶胶；其中，钛酸四丁酯与乙酰丙酮的摩尔比为1:(1～3)，丙三醇的体积百分数为5％；步骤3：将步骤2得到的溶胶旋涂在清洗干净的硅片上，然后在烘箱中200～275℃下干燥，使溶剂充分挥发；最后再置于退火炉中，在700～750℃下退火1～2h，得到本发明所述金红石二氧化钛纳米薄膜。