发明名称 | 静电容量式传感器、声音传感器以及麦克风 | ||
摘要 | 在硅基板(22)上开设有在上下方向上贯通的腔(23)。以覆盖腔(23)的上表面开口的方式将隔膜(24)配置于硅基板(22)的上表面。在隔膜(24)的内侧,隔膜(24)的角部设有脚片(26)。隔膜(24)与脚片(26)被狭缝(25)分离,脚片(26)沿着隔膜(24)的对角方向伸出。脚片(26)在隔膜(24)的外周侧的端部与隔膜(24)结合,隔膜(24)的中心侧的端部被设于硅基板(22)的上表面的固定构件(27)支撑。以覆盖隔膜(24)的方式在硅基板(22)的上方设有背板(28),在背板(28)的下表面与隔膜(24)相向地设有固定电极板(29)。 | ||
申请公布号 | CN105191351A | 申请公布日期 | 2015.12.23 |
申请号 | CN201380074449.6 | 申请日期 | 2013.09.09 |
申请人 | 欧姆龙株式会社 | 发明人 | 井上匡志 |
分类号 | H04R19/04(2006.01)I | 主分类号 | H04R19/04(2006.01)I |
代理机构 | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人 | 董雅会;向勇 |
主权项 | 一种静电容量式传感器,其特征在于,具有:基板,具有至少在上表面开设的空洞,振动电极板,以覆盖所述空洞的上表面的方式形成于所述基板的上方,固定电极板,配置为与所述振动电极板相向;还具有脚片,所述脚片的整周被所述振动电极板包围,并且,所述脚片的一部分与所述振动电极板结合,所述脚片能够被静止构件支撑。 | ||
地址 | 日本京都府京都市 |