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发明名称
EVAPORATOR FOR CHELATE METAL-ORGANIC COMPOUNDS
摘要
申请公布号
SU1763521(A1)
申请公布日期
1992.09.23
申请号
SU19904882932
申请日期
1990.11.19
申请人
INST POLUPROVODNIKOV
发明人
DRUZ BORIS L,SU;EVTUKHOV YURIJ N,SU
分类号
C23C16/54
主分类号
C23C16/54
代理机构
代理人
主权项
地址
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