发明名称 | 一种可节约资源的酸性蚀刻废液循环再生系统 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种可节约资源的酸性蚀刻废液循环再生系统,包括蚀刻液处理系统、氯气回收系统和再生液循环系统,蚀刻液处理系统包括蚀刻生产线(1)、母液储存罐(2)、电解槽和溶解吸收系统(6),电解槽包括阴极槽(3)和阳极槽(5),母液储存罐(2)、阴极槽(3)、阳极槽(5)、溶解吸收系统(6)依次连通,蚀刻生产线(1)分别与母液储存罐(2)和溶解吸收系统(6)连通,氯气回收系统包括洗气系统(7)和尾气处理系统(8),再生液循环系统包括再生液储罐(10)和再生液处理系统(11)。本实用新型的有益效果是:该系统用于处理酸性蚀刻废液,具有可离线生产、节约成本、节约资源、能够防止环境污染等优点。 | ||
申请公布号 | CN204898084U | 申请公布日期 | 2015.12.23 |
申请号 | CN201520694170.4 | 申请日期 | 2015.09.09 |
申请人 | 成都虹华环保科技股份有限公司 | 发明人 | 韦建敏;吴梅;赵兴文;张晓蓓;张小波 |
分类号 | C23F1/46(2006.01)I | 主分类号 | C23F1/46(2006.01)I |
代理机构 | 成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218 | 代理人 | 袁英 |
主权项 | 一种可节约资源的酸性蚀刻废液循环再生系统,其特征在于:包括蚀刻液处理系统、氯气回收系统和再生液循环系统,蚀刻液处理系统包括蚀刻生产线(1)、母液储存罐(2)、电解槽和溶解吸收系统(6),电解槽包括阴极槽(3)、膜(4)和阳极槽(5),母液储存罐(2)、阴极槽(3)、阳极槽(5)、溶解吸收系统(6)依次连通,蚀刻生产线(1)分别与母液储存罐(2)和溶解吸收系统(6)连通,溶解吸收系统(6)与蚀刻生产线(1)连通;氯气回收系统包括洗气系统(7)和尾气处理系统(8),阳极槽(5)、洗气系统(7)和尾气处理系统(8)依次连通;再生液循环系统包括再生液储罐(10)和再生液处理系统(11),阳极槽(5)、再生液储罐(10)、再生液处理系统(11)和蚀刻生产线(1)依次连通。 | ||
地址 | 610000 四川省成都市高新区西芯大道4号 |