发明名称 一种可节约资源的酸性蚀刻废液循环再生系统
摘要 本实用新型公开了一种可节约资源的酸性蚀刻废液循环再生系统,包括蚀刻液处理系统、氯气回收系统和再生液循环系统,蚀刻液处理系统包括蚀刻生产线(1)、母液储存罐(2)、电解槽和溶解吸收系统(6),电解槽包括阴极槽(3)和阳极槽(5),母液储存罐(2)、阴极槽(3)、阳极槽(5)、溶解吸收系统(6)依次连通,蚀刻生产线(1)分别与母液储存罐(2)和溶解吸收系统(6)连通,氯气回收系统包括洗气系统(7)和尾气处理系统(8),再生液循环系统包括再生液储罐(10)和再生液处理系统(11)。本实用新型的有益效果是:该系统用于处理酸性蚀刻废液,具有可离线生产、节约成本、节约资源、能够防止环境污染等优点。
申请公布号 CN204898084U 申请公布日期 2015.12.23
申请号 CN201520694170.4 申请日期 2015.09.09
申请人 成都虹华环保科技股份有限公司 发明人 韦建敏;吴梅;赵兴文;张晓蓓;张小波
分类号 C23F1/46(2006.01)I 主分类号 C23F1/46(2006.01)I
代理机构 成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218 代理人 袁英
主权项 一种可节约资源的酸性蚀刻废液循环再生系统,其特征在于:包括蚀刻液处理系统、氯气回收系统和再生液循环系统,蚀刻液处理系统包括蚀刻生产线(1)、母液储存罐(2)、电解槽和溶解吸收系统(6),电解槽包括阴极槽(3)、膜(4)和阳极槽(5),母液储存罐(2)、阴极槽(3)、阳极槽(5)、溶解吸收系统(6)依次连通,蚀刻生产线(1)分别与母液储存罐(2)和溶解吸收系统(6)连通,溶解吸收系统(6)与蚀刻生产线(1)连通;氯气回收系统包括洗气系统(7)和尾气处理系统(8),阳极槽(5)、洗气系统(7)和尾气处理系统(8)依次连通;再生液循环系统包括再生液储罐(10)和再生液处理系统(11),阳极槽(5)、再生液储罐(10)、再生液处理系统(11)和蚀刻生产线(1)依次连通。
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