具有适于保护抵抗氟等离子体的保护涂层的腔室部件

摘要

本文所述的实施方式关于一种保护涂层，所述保护涂层保护腐蚀环境内的下伏腔室部件免于受到腐蚀或劣化。所述腔室部件具有包含陶瓷材料的表面。设置在所述表面的涂层包含氧化镁、氧化镧或氟化镧。

主权项

一种供用于等离子体处理腔室中的装置，所述装置包含：腔室部件，所述腔室部件具有表面，其中所述表面包含陶瓷材料；及涂层，所述涂层设置于所述腔室部件的所述表面上，所述涂层包含氧化镁、氧化镧或氟化镧。