| 发明名称 | 承载装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型揭露一种承载装置，其包含一固定盘，固定盘的一面设置有复数个承载部，以分别用以承载一工件，各承载部的外周分别围绕设置有一围部，承载部与其对应设于外周的围部之间具有间距以形成一间隙，其中，部份或全部的围部彼此相互连接。 | ||
| 申请公布号 | CN204905223U | 申请公布日期 | 2015.12.23 |
| 申请号 | CN201520703612.7 | 申请日期 | 2015.09.11 |
| 申请人 | 林瑞琮 | 发明人 | 林瑞琮;江庆弘 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 | 代理人 | 黄超;周春发 |
| 主权项 | 一种承载装置，其特征在于，包含一固定盘(10)，该固定盘(10)的一面设置有复数个承载部(11)，以分别用以承载一工件(40)，各该承载部(11)的外周分别围绕设置有一围部(12)，该承载部(11)与其对应设于外周的该围部(12)之间具有间距以形成一间隙(13)，其中，部份或全部的该围部(12)彼此相互连接。 | ||
| 地址 | 中国台湾桃园市中坜区中北路二段208巷12号9楼 | ||