发明名称 |
一种新型有机负胶显影液及其制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种新型有机负胶显影液,其特征在于,所述显影液包括环戊酮、有机溶剂和铝保护剂;所述有机溶剂包括石油醚与四氢呋喃的混合物,或者石油醚与环氧乙烷的混合物;所述铝保护剂至少包括钼酸钠、苯并三氮唑。本发明有机负胶显影液在高效去除有机负胶的同时,采用铝保护剂有效阻止了芯片的铝基板不被显影液腐蚀,大幅提高了产品的良率。 |
申请公布号 |
CN105182703A |
申请公布日期 |
2015.12.23 |
申请号 |
CN201510619619.5 |
申请日期 |
2015.09.25 |
申请人 |
江阴润玛电子材料股份有限公司 |
发明人 |
戈烨铭 |
分类号 |
G03F7/32(2006.01)I;C09K13/00(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/32(2006.01)I |
代理机构 |
江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 |
代理人 |
唐纫兰;隋玲玲 |
主权项 |
一种新型有机负胶显影液,其特征在于,所述显影液包括环戊酮、有机溶剂和铝保护剂;所述有机溶剂包括石油醚与四氢呋喃的混合物,或者石油醚与环氧乙烷的混合物;所述铝保护剂至少包括钼酸钠、苯并三氮唑。 |
地址 |
214423 江苏省无锡市江阴市周庄镇长青路2号 |