发明名称 一种新型有机负胶显影液及其制备方法
摘要 本发明公开了一种新型有机负胶显影液,其特征在于,所述显影液包括环戊酮、有机溶剂和铝保护剂;所述有机溶剂包括石油醚与四氢呋喃的混合物,或者石油醚与环氧乙烷的混合物;所述铝保护剂至少包括钼酸钠、苯并三氮唑。本发明有机负胶显影液在高效去除有机负胶的同时,采用铝保护剂有效阻止了芯片的铝基板不被显影液腐蚀,大幅提高了产品的良率。
申请公布号 CN105182703A 申请公布日期 2015.12.23
申请号 CN201510619619.5 申请日期 2015.09.25
申请人 江阴润玛电子材料股份有限公司 发明人 戈烨铭
分类号 G03F7/32(2006.01)I;C09K13/00(2006.01)I 主分类号 G03F7/32(2006.01)I
代理机构 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 代理人 唐纫兰;隋玲玲
主权项 一种新型有机负胶显影液,其特征在于,所述显影液包括环戊酮、有机溶剂和铝保护剂;所述有机溶剂包括石油醚与四氢呋喃的混合物,或者石油醚与环氧乙烷的混合物;所述铝保护剂至少包括钼酸钠、苯并三氮唑。
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