基于对称型双柔顺铰链的三自由度微定位平台

摘要

本发明提供一种基于对称型双柔顺铰链的三自由度微定位平台，包括定平台、动平台、设置在定平台上的驱动器和用于连接定平台和动平台的三个杠杆放大机构；三个杠杆放大机构均匀布设在动平台的外围，并分别与定平台、动平台和驱动器连接；其中，每个杠杆放大机构包括活动杠杆、双柔顺铰链和设置有双柔顺铰链的导向机构；活动杠杆通过双柔顺铰链分别与定平台和驱动器连接，并通过导向机构与动平台连接；双柔顺铰链为对称型双柔顺铰链。该微定位平台在满足安装空间和固定频率等各种条件的前提下，可提高位移定位精度和获得尽量大的行程；其具有矫正位移输出功能的微定位平台，使得位移尽量呈线性输出，从而减小耦合位移。

主权项

一种基于对称型双柔顺铰链的三自由度微定位平台，其特征在于：包括定平台、动平台、设置在定平台上的驱动器和用于连接定平台和动平台的三个杠杆放大机构；所述三个杠杆放大机构均匀布设在动平台的外围，并分别与定平台、动平台和驱动器连接；其中，每个杠杆放大机构包括活动杠杆、双柔顺铰链和设置有双柔顺铰链的导向机构；所述活动杠杆通过双柔顺铰链分别与定平台和驱动器连接，并通过导向机构与动平台连接；所述双柔顺铰链为对称型双柔顺铰链。