| 发明名称 | 包括多层涂层的光学元件及包括光学元件的光学装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种光学元件(50)，包含：基板(52)；以及施加于该基板(52)的多层涂层(51)，多层涂层包含：至少一个第一层系统(53)，其由相同构造的堆叠(X1至X4)的布置组成，各堆叠具有至少两个层(53a-d)；以及至少一个第二层系统(54)，其由相同构造的堆叠(Y1，Y2)的布置组成，各堆叠具有至少两个层(54a，54b)，其中在该多层涂层(51)的热负载时，第一层系统(53)经历各堆叠(X1至X4)的厚度(d<sub>X</sub>)的不可逆收缩，第二层系统(54)经历各堆叠(Y1，Y2)的厚度(d<sub>Y</sub>)的不可逆膨胀。本发明还涉及一种包含至少一个这种光学元件(50)的光学装置，尤其是光刻设备。 | ||
| 申请公布号 | CN105190372A | 申请公布日期 | 2015.12.23 |
| 申请号 | CN201480024171.6 | 申请日期 | 2014.04.15 |
| 申请人 | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 | 发明人 | R.W.E.范德克鲁伊斯;S.尼亚贝罗;A.E.亚克欣;F.比柯克 |
| 分类号 | G02B5/08(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;G21K1/06(2006.01)I;B82Y30/00(2006.01)I | 主分类号 | G02B5/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 邱军 |
| 主权项 | 一种光学元件(50)，包含：基板(52)；以及施加于所述基板(52)的多层涂层(51)，所述多层涂层包含：至少一个第一层系统(53)，由相同构造的堆叠(X1至X4)的布置组成，各堆叠具有至少两个层(53a‑d)；以及至少一个第二层系统(54)，由相同构造的堆叠(Y1，Y2)的布置组成，各堆叠具有至少两个层(54a，54b)，其中，在所述多层涂层(51)热负载时，所述第一层系统(53)经历各堆叠(X1至X4)的厚度(dX)的不可逆收缩，所述第二层系统(54)经历各堆叠(Y1，Y2)的厚度(dY)的不可逆膨胀。 | ||
| 地址 | 德国上科亨 | ||