静压气体轴承及使用该静压气体轴承之直线运动引导装置

主权项

一种静压气体轴承，其具备：合成树脂制轴承体，其于一面具有在该一面开口而形成之圆环状凹部，于另一面具有在该另一面开口而形成之环状凹槽、及一端在环状凹槽开口且另一端在圆环状凹部开口之作为自成节流之复数个空气喷出孔；轴承基体，其具备一端在与该轴承体之一面对向之一面上开口且在该一端与圆环状凹部连通，而对另一端供给气体之供气通路，并且与该轴承体一体结合；及自激振动衰减机构；自激振动衰减机构具备形成于轴承体或轴承基体之空气室、与一端在轴承体之另一面中央部开口且另一端于空气室开口之至少一个节流孔；其中空气室具备于轴承体之一面开口且形成于该轴承体上之凹部，该凹部之于轴承体之一面上之开口由面向轴承体之一面之轴承基体之一面予以封闭。