具有孔洞之抛光垫

主权项

一种用于抛光基板之抛光装置，该抛光装置包含：抛光垫，其具有抛光表面及背表面，该抛光表面包含沟槽图案；孔洞，其布置于该抛光垫中且自该背表面贯穿至该抛光表面，其中该沟槽图案之第一沟槽系在该孔洞之第一侧壁处与该孔洞连续但与该孔洞之第二侧壁不连续的圆周沟槽，且其中该沟槽图案之第二沟槽在该第二侧壁处与该孔洞连续；及黏着片，其布置于该抛光垫之该背表面上但不布置于该孔洞中，该黏着片在该抛光垫之该背表面处为该孔洞提供不透性密封。