プラズマ化学気相蒸着装置

摘要

プラズマ化学気相蒸着装置が開示され、前記プラズマ化学気相蒸着装置は、互いに間隔をおいて対向して配置される一対の磁場発生ユニット、前記一対の磁場発生ユニットの間で互いに対向する一対の対面電極、前記一対の対面電極の間に反応ガスを供給するガス供給ユニット、及び、前記一対の対面電極の間に前駆体を供給する前駆体供給ユニットを含み、前記一対の磁場発生ユニットの間には対面磁場が形成され得る。