发明名称 導電性透明アルミニウムドープ酸化亜鉛スパッタ膜
摘要 <p>Al2O3が0.5〜2重量%の範囲にある組成をもつ酸化物ターゲットを用い、望ましくは、膜の上面から底面まで柱状組織が延びている柱状結晶粒構造及び小さい(基板から膜の上面まで70nm未満の)横方向結晶粒径を示す膜が得られる、325℃より高い温度で、パルスDCによって透明基板上に被着されたAZO膜が開示される。膜は400nmより薄い厚さにおいて10Ω/□未満となる小さい比抵抗を有し、比抵抗は450℃までの温度でのアニールによって変化しないことが望ましい。</p>
申请公布号 JP2015535892(A) 申请公布日期 2015.12.17
申请号 JP20150535817 申请日期 2013.10.04
申请人 コーニング インコーポレイテッド 发明人 ベルマン,ロバート アラン;クラーク,ジェレミー カーティス;サシェニク,ポール アーサー;シンプソン,リン バーナード;ティエン,リーリー
分类号 C23C14/08;H01B5/14 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
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