カセット装置、基板搬送装置、基板処理装置及び基板処理方法

摘要

カセット装置は、基板の供給及び回収の一方を行う第一ユニット部と、前記基板の供給及び回収の他方を行う第二ユニット部と、を有し、前記第一ユニット部及び前記第二ユニット部は、互いに接近又は離間可能である。