| 发明名称 | 基于铁酸铋的光电传感器元件及其制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种基于铁酸铋的光电传感器元件及其制作方法，所述光电传感器元件包括自下而上依次布置的SrTiO<sub>3</sub>衬底、作为下电极的SrRuO<sub>3</sub>外延膜、BiFeO<sub>3</sub>外延膜和作为上电极的ITO透明膜，所述SrRuO<sub>3</sub>外延膜外延沉积在所述SrTiO<sub>3</sub>衬底上，所述BiFeO<sub>3</sub>外延膜外延沉积在所述SrRuO<sub>3</sub>外延膜上，所述ITO透明膜外延沉积在所述BiFeO<sub>3</sub>外延膜上，所述SrRuO<sub>3</sub>外延膜和ITO透明膜通过导线连接电压测量设备。本发明的光电传感器元件将能量大于铁酸铋带隙(2.7电子伏)的光辐照在该光电传感器元件之上，可以产生开路光电压，该电压正比于铁酸铋薄膜厚度。该光-开路光电压关系可以作为光电传感的信号转换。感光波长为小于430nm。 | ||
| 申请公布号 | CN105161563A | 申请公布日期 | 2015.12.16 |
| 申请号 | CN201510639910.9 | 申请日期 | 2015.09.30 |
| 申请人 | 西交利物浦大学 | 发明人 | 于昊 |
| 分类号 | H01L31/08(2006.01)I;H01L31/0256(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人 | 范晴 |
| 主权项 | 一种基于铁酸铋的光电传感器元件，其特征在于它包括自下而上依次布置的SrTiO<sub>3</sub>衬底(1)、作为下电极的SrRuO<sub>3</sub>外延膜(2)、BiFeO<sub>3</sub>外延膜(3)和作为上电极的ITO透明膜(4)，所述SrRuO<sub>3</sub>外延膜(2)外延沉积在所述SrTiO<sub>3</sub>衬底(1)上，所述BiFeO<sub>3</sub>外延膜(3)外延沉积在所述SrRuO<sub>3</sub>外延膜(2)上，所述ITO透明膜(4)外延沉积在所述BiFeO<sub>3</sub>外延膜(3)上，所述SrRuO<sub>3</sub>外延膜(2)和ITO透明膜(4)通过导线连接电压测量设备(5)。 | ||
| 地址 | 215123 江苏省苏州市工业园区独墅湖高等教育区仁爱路111号 | ||