插入式低温冷凝板装置

摘要

本发明涉及一种低温冷凝板装置，包括低温冷凝板（3），低温冷凝板（3）的四周设置由下底板和侧面板连接而成的屏蔽板（2），屏蔽板（2）的顶部设置挡板（1），屏蔽板（2）的下底板与制冷机（6）的一级冷头相连接，两套带孔低温冷凝板（3）分别与两台双二级制冷机（6）的二级冷头相连，制冷机（6）固定在安装法兰（4）上，低温冷凝装置通过安装法兰（4）设置在真空室内，因此,本发明能克服传统低温泵对气体的抽速受到低温泵泵口直径以及挡板的限制，通过将气体冷凝到低温表面上，将气体抽除，能获得好于5E-6Pa的清洁超高真空，且本发明涂活性炭时能明显增加对氮气的容量，作为内置泵时能明显提高对氮气的抽速。

主权项

一种插入式低温冷凝板装置，包括低温冷凝板(3)、低温冷凝板(3)的四周设置屏蔽板(2)、屏蔽板(2)的顶部设置挡板(1)，屏蔽板(2)的下底板与制冷机(6)的一级冷头相连接，低温冷凝板(3)与制冷机(6)的二级冷头相连接，制冷机(6)固定在安装法兰(4)上，其特征在于：所述低温冷凝板装置通过安装法兰(4)设置在真空室内，所述的低温冷凝板(3)为两套，每套由上、下带孔矩形低温板(8、9)通过连接板连接而成，低温冷凝板(3)的外表面抛光，内表面粘有活性炭吸附剂；所述的挡板(1)是由支撑杆和挡板条组成，挡板条的外表面镀镍抛光至镜面，内表面涂黑色清漆；所述的屏蔽板(2)为半开半闭圆柱状，由下底板、侧面板及人字形挡板焊接而成，屏蔽板的外表面镀镍抛光至镜面，内表面涂黑色清漆；所述挡板(1)和屏蔽板(2)采用热传导率高的无氧铜，屏蔽板(2)的流导不低于20000l/s，挡板(1)的流导不低于8400l/s；所述的制冷机为两台CGR411双二级制冷机(6)，双二级制冷机(6)通过接管(5)固定在安装法兰(4)上的两个安装洞上，两套带孔低温冷凝板(3)分别与两台双二级制冷机(6)的二级冷头相连；所述的双二级制冷机(6)的电机及控制室设置在真空室外部，一级冷头及二级冷头设置在真空室内部。