| 发明名称 | 一种伺服阀芯气相沉积加工旋转机构 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种伺服阀芯气相沉积加工旋转机构，包括大齿轮、小齿轮、轴承、阀芯杆状托盘、托盘上盖、双头螺栓、螺母、底座、旋转力输入轴、变速箱等部件。本发明结构简单、可靠，可以一次对多个伺服阀芯进行气相沉积加工。 | ||
| 申请公布号 | CN105154845A | 申请公布日期 | 2015.12.16 |
| 申请号 | CN201510632756.2 | 申请日期 | 2015.09.30 |
| 申请人 | 扬中中科维康智能科技有限公司 | 发明人 | 陈万荣;陈修祥;周维虎;孙华平 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/50(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种伺服阀芯气相沉积加工旋转机构，包括大齿轮、小齿轮、轴承、阀芯杆状托盘、托盘上盖、双头螺栓、螺母、底座、旋转力输入轴、变速箱等部件。可以一次对六个伺服阀芯进行气相沉积处理。 | ||
| 地址 | 212211 江苏省镇江市扬中市新城路1号科技孵化器5楼 | ||