发明名称 APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATE AND METHOD FOR TREATING SUBSTRATE USING THE SAME
摘要 <p>기판 처리 장치는 기판 상에 배치된 전극플레이트 및 상기 전극플레이트의 가장자리에 배치된 벤딩프레임을 포함한다. 상기 벤딩프레임은 제1 방향으로 연장된 가상선을 기준으로 상기 가상선의 양측에 배치된 제1 프레임 및 제2 프레임을 포함하며, 상기 제1 프레임과 상기 제2 프레임 사이의 각도를 조절하여 상기 기판을 상기 전극플레이트에 고정시킨다.</p>
申请公布号 KR20150140497(A) 申请公布日期 2015.12.16
申请号 KR20140068557 申请日期 2014.06.05
申请人 SAMSUNG DISPLAY CO., LTD. 发明人 VALERIY PRUSHINSKIY;KIM, MIN SOO;NOH, SOK WON;KANG, TAE WOOK
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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