一种消除圆片样品表面电荷效应的装置及其使用方法

摘要

圆片在进行表面分析时，常常因为圆片表面发生电荷效应而使分析产生误差。本发明通过一套装置和相应的使用方法消除了该问题。本发明提出的装置含有：金属网格，样品台，和螺栓组件构成三部分。当圆片放置在样品台后，放下金属网格，使圆片表面上的积累电荷通过金属网格导走。方便有效地解决了电荷效应产生分析误差的问题。

主权项

1.一种消除圆片样品表面电荷的装置，含有金属网格，样品台，和螺栓组件，其中金属网格、样品台上都有相互对应的通孔，金属网格放置于样品台上，通过螺栓组件连接，其特征在于所述螺栓组件含有螺栓、第一弹簧和第二弹簧两个弹簧、螺母，其中，螺栓插入金属网格的通孔后套入第一弹簧、再插入样品台各自的通孔后下部套入第二弹簧并拧上螺母，金属网格通过螺栓与样品台中的基台相连，基台在俄歇电子能谱仪内部接地。