| 摘要 |
1. Многоканальный ионный источник, включающий электродную систему, содержащую катодную корпусную и анодную части, источники магнитодвижущей силы, рабочих газов и высоковольтного электропитания, обеспечивающие разряд между катодом и анодом в скрещенных продольном магнитном и поперечном электрическом полях, в котором катодная корпусная магнитопроводящая часть источника снабжена отверстиями для выхода ионов, образующихся в разряде между катодом и анодом, отличающийся тем, что катодная корпусная часть имеет концентрические вакуумные каналы с кольцевыми отверстиями для выхода ионов, анодная часть состоит из находящихся в вакуумных каналах изолированных друг от друга и от катода концентрических колец под кольцевыми отверстиями в катоде, поверхность каждого из анодных колец, обращенная к катоду, параллельна внутренней поверхности катода, перекрывает отверстие в катоде по ширине, каждое анодное кольцо подсоединено к собственному высоковольтному источнику электропитания, а каждый вакуумный канал - к собственному источнику рабочего газа таким образом, что выходящие из каналов через отверстия в катоде потоки ионов, регулируемые независимо друг от друга по электропитанию и расходу газа, складываются на выходе источника ионов и образуют единый пучок ионов. ! 2. Многоканальный ионный источник по п.1, отличающийся тем, что в нем катодная корпусная часть и обращенные к ней поверхности анодных колец выполнены с наклоном под углом α к выходной плоскости ионного источника при сохранении параллельности обращенных друг к другу поверхностей катода и анода. |
