| 发明名称 | 一种原始对中装置和系统 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种原始对中装置和原始对中系统，其中，所述原始对中装置的上表面开有第一圆槽孔，用于容置晶圆片，所述第一圆槽孔的深度低于晶圆片的厚度；所述装置上表面还具有直径大于第一圆槽孔且与第一圆槽孔同心的标记线，所述装置上的标记线与光刻板上的标记线在原始对中时重合。本发明的原始对中装置和系统在容置晶圆片的第一圆槽孔外和光刻板上都设置有标记线，通过将第一圆槽孔外的标记线与光刻板上的标记线对准，实现晶圆片和光刻板上图案的良好原始对中，改善原始对中同心度。 | ||
| 申请公布号 | CN101634814A | 申请公布日期 | 2010.01.27 |
| 申请号 | CN200910166484.6 | 申请日期 | 2009.08.19 |
| 申请人 | 株洲南车时代电气股份有限公司 | 发明人 | 张明;李继鲁;邹昌;程银华;刘旭君 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G03F9/00(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 逯长明;王宝筠 |
| 主权项 | 1、一种原始对中装置，其特征在于，所述装置上表面开有第一圆槽孔，用于容置晶圆片，所述第一圆槽孔的深度低于晶圆片的厚度；所述装置上表面还具有直径大于第一圆槽孔且与第一圆槽孔同心的标记线，所述装置上的标记线与光刻板上的标记线在原始对中时重合。 | ||
| 地址 | 412001湖南省株洲市石峰区时代路 | ||