垂直式探针卡的探针

摘要

本发明揭示一种垂直式探针卡的探针。本发明的技术手段主要是在垂直式探针卡的探针针尖处约1～10密耳的表面上，镀上纳米镀膜厚度为1～20纳米的高导电性高分子材料。借助于这种镀膜，本发明垂直式探针上的纳米镀膜可有效地使探针具备不沾粘、高导电性、降低接触力、延长寿命的优良质量，因此可以提高晶圆测试的良率，降低探针的清洁频率，并降低整体测试成本。

主权项

1.一种垂直式探针卡的探针，由金属材料制成，用于装置在所述垂直式探针卡上，其特征在于：所述探针上镀有导电高分子纳米镀膜。