发明名称 一种用于硒化或硫化处理的可控硒蒸汽或硫蒸汽的产生装置及方法
摘要 本发明涉及一种用于硒化或硫化处理的高活性可控硒或硫蒸汽的产生装置及方法。本发明将硒或硫蒸汽产生装置的存储功能和加热功能分开,较大的固态硒或硫源储料室可一次加足连续生产所需用量;较小的高温气化室保证了固态硒或硫的快速气化和硒或硫的活性,同时降低了加热能耗;连续送料装置将储料室的固态硒或硫送入到高温气化室产生硒蒸汽,通过控制送料速度实现了对硒或硫蒸汽的通断和浓度的控制。
申请公布号 CN102252307B 申请公布日期 2013.08.14
申请号 CN201110082240.7 申请日期 2011.04.01
申请人 湘潭大学 发明人 潘勇;范清喜;周杰;陈浩;李凯;周兆峰
分类号 F22B33/00(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 F22B33/00(2006.01)I
代理机构 长沙市融智专利事务所 43114 代理人 颜勇
主权项 一种使用可控硒蒸汽或硫蒸汽的产生装置产生可控硒蒸汽或硫蒸汽的方法,其特征在于,包括以下步骤:1)、将固态硫或硒的粉状或颗粒状原料由储料室进料口加入至储料室中,再密闭储料室进料口;2)、通过储料室惰性气体进气口和气化室惰性气体进气口向装置内通入惰性气体,将气化室加热,温度为800~1000℃;3)、启动连续送料装置,将固态硫或硒的粉状或颗粒状原料连续送入气化室中;4)、固态硫或硒的粉状或颗粒状原料在气化室中经高温气化,所产生的硫或硒蒸汽由通入的惰性气体通过气体出口载出气化室;所述的装置包括设有储料室进料口和储料室出料口的储料室、设有送料装置进料口和送料装置出料口的连续送料装置、设有气化室进料口和气体出口的气化室,所述储料室出料口与送料装置进料口相连,送料装置出料口与气化室进料口相连。
地址 411105 湖南省湘潭市西郊羊牯塘