光束扫描装置、激光加工装置、测试方法和激光加工方法

摘要

本发明公开一种光束扫描装置、激光加工装置、测试方法和激光加工方法。用于扫描光束的装置包括被配置为使入射光束反射的反射镜；被配置为使反射镜旋转以改变被反射镜反射的光束行进的方向的马达；被配置为检测反射镜的被检测区域相对于反射镜旋转角的倾斜的检测器；以及被配置为基于反射镜的旋转角和检测器所检测到的被检测区域的倾斜，计算反射镜相对于沿马达旋转轴的方向的倾斜量的处理器。

主权项

1.一种用于扫描光束的装置，该装置包括：反射镜，被配置为使入射光束反射；马达，被配置为使所述反射镜旋转，以改变被所述反射镜反射的光束行进的方向；检测器，被配置为检测所述反射镜的被检测区域相对于所述反射镜的旋转角的倾斜；以及处理器，被配置为基于所述反射镜的旋转角和所述检测器所检测到的所述被检测区域的倾斜，计算所述反射镜相对于沿所述马达的旋转轴的方向的倾斜量。